作者:都灵理工大学
信用:Pixabay/CC0公共领域
微机电装置(MEMS)是基于微米级的机械和电子元件的集成
我们都在日常生活中持续使用它们:例如，在我们的手机中，至少有十几个微机电系统，它们调节手机的运动、位置和倾斜度监控等不同活动；不同传输频段的有源滤波器和麦克风本身
更令人感兴趣的是这些设备的纳米级微型化(NEMS)，因为它提供了创建惯性、质量和力传感器的可能性，这些传感器的灵敏度可以与单个分子相互作用
然而，NEMS传感器的扩散仍然受到传统硅基技术的高制造成本的限制
相反，3D打印等新技术表明，可以以低成本创建类似的结构，并具有有趣的内在功能，但迄今为止，质量传感器的性能很差
发表在《自然通讯》上的文章“用3D打印机纳米机械谐振器达到硅基NEMS性能”展示了如何从3D打印中获得机械纳米谐振器，其品质因数、公开的稳定性、质量灵敏度和强度等品质因数与硅谐振器相当
这项研究是都灵理工大学(Stefano Stassi和应用科学技术部的Carlo Ricciardi)合作的结果；和MPNMT小组的Mauro Tortello和Fabrizio Pirri)和耶路撒冷希伯来大学，由Ido Cooperstein和Shlomo Magdassi研究
不同的纳米器件(膜、悬臂、桥)通过在新的液体组合物上的双光子聚合获得，随后是去除有机成分的热处理，留下具有高刚性和低内部耗散的陶瓷结构
然后用激光多普勒振动测量法表征如此获得的样品
斯特凡诺·斯塔西解释说:“我们制造和表征的NEMS具有与当前硅器件一致的机械性能，但它们是通过更简单、更快速和更通用的工艺获得的，因此也有可能增加新的化学-物理功能。”
例如，文章中使用的材料是钕:钇铝石榴石，通常用作红外范围内的固态激光源
" Shlomo Magdassi说:“通过快速简单的3D打印工艺，制造出性能类似于硅的复杂微型器件的能力，为添加剂制造和快速制造领域带来了新的视野。”
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