石墨烯旗舰 爱思强用于石墨烯生产的新“中子”卷对卷系统
信用:爱思强/石墨烯旗舰 今天，石墨烯旗舰合作伙伴AIXTRON展示了两个系统，这两个系统能够在消费电子、传感器和光子应用中实现经济高效的石墨烯生产
石墨烯旗舰合作伙伴爱思强(AIXTRON)介绍了其两个系统的成果，这两个系统能够通过化学气相沉积(CVD)大规模生产石墨烯
中子是一种卷对卷系统，能够在环境条件下在金属箔上沉积大面积石墨烯；CCS 2-D系统能够在绝缘晶片上实现石墨烯的晶片级生产，这一突破将加速新石墨烯电子器件的发展
为了证明所生产的石墨烯的性价比，爱思强在工业论坛上分发了样品
创新的中子系统每年可生产高达20，000平方米的石墨烯；这大约是目前使用的典型反应堆生产能力的200倍
爱思强公司项目经理兼石墨烯旗舰产品工作包负责人亚历克斯·茹夫雷(Alex Jouvray)表示:“中子是R&D三年多的成果，包括石墨烯旗舰项目第一阶段的卷对卷石墨烯生长演示
" 中子使大面积石墨烯的生产超越了学术界，进入了工厂
“涂有石墨烯的箔片在环境条件下进出中子系统，”茹夫雷解释道
“因为它不需要真空，中子可以很容易地在线放置在石墨烯制造厂，”他补充说
使用这种新技术生产的大面积单层石墨烯可应用于透明导体、耐磨器件和涂层
“此外，这是经济的，”茹弗里补充说
“有了中子，我们能够将一平方米石墨烯化学气相沉积薄膜的成本降低两个数量级，”他解释说
“它改变了游戏规则
" 多功能的CCS系统针对半导体应用
这里有严格的污染要求；通常，石墨烯需要生长在金属表面和金属箔上，由于金属表面和金属箔不平坦，在半导体工业中难以处理，并且含有金属污染物，在材料进入fab之前需要进一步的清洗步骤
在石墨烯旗舰项目的最初几年里，艾思强与石墨烯旗舰合作伙伴意大利技术研究院(IIT)的卡米拉·科尔蒂团队一起，在其CCS 2-D反应器中将绝缘体上石墨烯的生长规模扩大到全晶片规模，该反应器可容纳2英寸至8英寸的晶片
晶片显示出低污染水平，在生长后直接满足半导体晶圆厂的要求
卡米拉·科尔蒂评论说:“如此巨大的进步只有归功于石墨烯旗舰项目，它汇集了来自学术界的顶尖科学家和来自世界领先设备公司的工程师
该系统还能够大规模生产其他层状材料，如氮化硼或过渡金属二氯化物
石墨烯旗舰创新部负责人Kari Hjelt认为，“这些由爱思强开发的系统展示了我们在石墨烯旗舰最初几年对原型的投资是如何引导产品通过化学气相沉积大量生产石墨烯的
他补充道，“这些发现开启了石墨烯之外的成千上万种可能性，以其他层状材料为特征的晶片，甚至三明治异质结构的出现指日可待。”
安德里亚·C
“石墨烯旗舰”的科技官员兼管理小组主席法拉利补充道，“石墨烯旗舰的最终目标是将石墨烯和相关的层状材料从实验室带到工厂车间
将这些新材料带到传统的半导体晶圆厂是实现它们在消费电子、光子学和传感器中广泛应用的关键，需要能够大面积、大速率和低成本制造石墨烯和相关材料的工业工具
" “有了这些系统，”法拉利补充道，“石墨烯旗舰合作伙伴爱思强在培育这些新材料带来的新市场机会方面处于领先地位
随着石墨烯旗舰公司准备推出第一家石墨烯代工厂，大规模生产石墨烯的能力尤为重要
此外，这些产品是石墨烯旗舰产品创新和技术路线图的基石，表明我们将在头十年实现宏伟目标
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