中国科学技术大学 信用:CC0公共领域 硅单电子/空穴晶体管和超高频纳米机电谐振器在量子计算、传感和许多其他领域显示出巨大的潜力
最近,一个由教授领导的小组
中国科学院中国科学技术大学郭教授与
来自瑞典乌普萨拉大学的张震团队设计并制造了与互补金属氧化物半导体兼容的悬浮自蔓延高温超导器件,该器件可用作超高频纳米机电谐振器
这项工作发表在《高级材料》杂志上
研究人员使用标准互补金属氧化物半导体制造技术开发了这种器件,这种技术便于大规模集成
观察到的库仑金刚石输运特征证实了自蔓延高温的形成
悬挂时,自蔓延高温合成还可以作为超高频纳米机电谐振器工作,表现出优异的机械性能
在超低温和高真空下,该器件表现出单孔隧穿行为和3千兆赫的创纪录高值的机械共振
这些性质将有助于探索机械振动和电荷载流子之间的相互作用,以及研究潜在的量子效应
此外,研究人员发现机械共振的电读出主要依赖于压阻效应,并且与单孔隧穿密切相关
在自蔓延高温下,压阻规因子比其他不同驱动功率下的大一个数量级
这一特性可以应用于研究硅在纳米尺度上的压阻效应以及更新颖的机械传感器件的设计
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