鲁尔大学波鸿分校 信用:CC0公共领域 氧化锌层在工业中的应用是多方面的,从保护可降解物品到检测有毒的氮氧化物气体
这种层可以通过原子层沉积(ALD)来沉积,该沉积通常使用化学化合物或简单的前体,其在与空气接触时立即点燃,即
e
高度自燃
鲁尔-波鸿大学的一个跨学科研究小组现在已经建立了一种基于非自燃锌前体的新制造工艺,这种前体可以在足够低的温度下进行加工,从而使塑料能够被包覆
该小组在《小》杂志上发表了他们的报告
沉积超薄层 为了制造二氧化氮(NO2)传感器,必须将纳米结构氧化锌(ZnO)薄层施加到传感器基底上,然后将其集成到电子元件中
安雅娜·德维教授的团队利用ALD在这种传感器基板上应用超薄氧化锌层
一般来说,ALD工艺在工业中用于使用超薄层使电子元件小型化,其中一些只有几个原子层厚,同时提高它们的效率
为此,需要合适的前体在表面反应形成这样的薄膜
“因此,ALD过程背后的化学作用是必不可少的,并且对最终形成的薄膜有着巨大的影响,”安嘉娜·德维指出
安全操作和最高质量 迄今为止,工业制造商一直在通过ALD部署一种反应性极强、高度自燃的锌前体来生产氧化锌薄膜
该研究的主要作者Lukas Mai解释说:“在RUB开发一种安全的替代ALD工艺的关键是开发一种新的、非自燃的前驱体,这种前驱体操作安全,能够沉积最高质量的氧化锌薄膜。”
“我们面临的挑战是找到替代化学物质,以取代工业中通常用于氧化锌的自燃化合物
" 卢卡斯·麦——他在一部电影中得到了反映——和安嘉娜·德维
信用:RUB,Marquard 新工艺的独特之处在于它可以在非常低的工艺温度下进行,因此有利于在塑料上沉积
因此,新方法不仅可以用于制造气体传感器,还可以用于制造气体阻挡层
在包装工业中,这种层被应用在塑料上,以保护可降解的物品,如食品或药品免受空气的影响
来源:由phyica.com整理转载自PH,转载请保留出处和链接!