哈佛大学约翰·阿·利亚·布伦斯著
保尔森工程和应用科学学院 硅晶片上45个1厘米的金属将光聚焦在一张纸上
荣誉:朴俊秀/哈佛SEAS 金属——利用纳米结构聚焦光线的平坦表面——将彻底改变从显微镜到照相机、传感器和显示器的一切
但到目前为止，大部分镜片都只有一片闪光的大小
虽然这种尺寸的透镜在某些应用中效果很好，但在弱光条件下需要更大的透镜，例如轨道卫星上的成像系统和虚拟现实应用，其中透镜需要大于瞳孔
现在，哈佛大学的研究人员
鲍尔森工程和应用科学学院(SEAS)开发了一种全玻璃厘米级可见光谱金属，可以用传统的芯片制造方法制造
这项研究发表在《纳米快报》上
“这项研究为所谓的手机晶圆级相机铺平了道路，在这种相机中，互补金属氧化物半导体芯片和金属可以直接堆叠在彼此的顶部，便于光学对准，因为它们都是平的，”罗伯特·L
华莱士应用物理学教授和温顿·海斯SEAS电子工程高级研究员，该论文的高级作者
“在未来，同一家公司可以同时制造芯片和透镜，因为两者都可以使用相同的技术制造:光刻技术
" “以前，我们无法在可见光波长下实现厘米级金属的大规模生产，因为我们要么使用太耗时的电子束光刻技术，要么使用一种称为I线步进光刻的技术，这种技术没有足够的分辨率来构图所需的亚波长大小的结构，”博士朴俊秀说
D
SEAS大学的候选人，该论文的第一作者
金属纳米柱的放大扫描电镜图像
荣誉:朴俊秀/哈佛SEAS 为了大规模生产厘米级的金属，研究人员使用了一种叫做深紫外(DUV)投影光刻的技术，这种技术通常用于在从计算机到手机的所有硅芯片上形成非常精细的线条和形状
这种技术可以在每个芯片上产生许多金属元素，每个金属元素由数百万个纳米级元素组成，只需一次曝光，就像拍照一样
研究人员通过将纳米结构图案直接蚀刻到玻璃表面上，消除了以前金属所需要的耗时的沉积过程
它是可见光谱中第一种可大量生产的厘米级全玻璃金属
虽然这种透镜是彩色的，这意味着所有不同颜色的光不会聚焦在同一个点上，但研究人员正在研究大直径的消色差金属透镜
来源：由phyica.com整理转载自PH，转载请保留出处和链接！
