中国科学院张楠楠 激光抛光系统示意图
结合过程中的表面形态演变
信用:SIOM 熔融石英中的激光损伤，特别是紫外激光损伤，仍然是限制高功率激光系统发展的关键问题
传统的熔融石英加工方法要经过研磨和化学机械抛光
这种方法实现超光滑表面耗时，并且容易引起表面和亚表面缺陷，导致熔融石英的表面损伤阈值显著降低
最近，中国科学院上海光学精密机械研究所的一个研究小组将化学蚀刻和CO2激光抛光结合起来处理研磨的熔融石英
使用化学蚀刻来打开研磨的熔融石英的表面下缺陷
随后，应用CO2激光抛光来降低表面粗糙度
这种组合工艺不仅可以有效地获得具有低表面粗糙度的超光滑表面，而且可以提高熔融石英的抗损伤性
这项工作发表在《光学快报》上
通过损伤形貌和缺陷分析，表明该组合工艺避免了表面和亚表面缺陷的引入，包括破坏性缺陷、化学结构缺陷和光活性金属杂质元素，并获得具有较低表面缺陷密度的熔融石英，从而获得更好的抗损伤性
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