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每日轻松一刻集成光子的新平台
由中国科学院(a)原始4h-sicoi材料平台的制造过程(b)4英寸晶片级4h-sicoi的照片使用粘合和稀释方法制造的衬底,故障区域标记为(c)4H-SICOI底物的总厚度变化(d)的图像的4H-SICOIDID(e)制造SiC微仪谐振器的流程图...
2021-09-23
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